-134名のご参加を頂き、会議は盛況のうちに終了しました。(2022/01/26)
-"ユーザー名"、"パスワード"を参加登録者にメールで通知しました。(2022/01/19)
-プログラムブックを公開しました。(2022/01/13)
-発表者・座長・聴講者参加マニュアルを公開しました。(2022/01/12)
-オンライン発表サイトを公開しました。(2022/01/05)
-招待講演タイトルを更新しました。(2021/12/14)
-講演プログラムを公開しました。(2021/12/07)
-プロシーディング〆切を2週間後の11/15(月)(最終)まで延長致します。(2021/11/01)
-早期事前参加登録〆切り:12月15日(2021/10/20)
-プロシーディング予稿投稿〆切り:10月31日(2021/10/07)
-SPP-39/SPSM34 Website is open (2021/08/30), although some information are still tentative.

オンライン発表サイト(ID & PWD required)

  • オンライン発表サイト(プロシーディング集)
  • オンライン発表サイトへのIDとパスワードは参加登録者にメールでお送りします.

発表者・座長・聴講者参加マニュアル

SPP-39/SPSM34概要

プラズマプロセシング研究会(SPP)は,応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会の主催により毎年1回開催されている国内学会で,今回で、39回目を迎えます。プラズマプロセシングに関わる物理的・化学的基礎科学の解明およびその制御と応用技術の開発をテーマに掲げ,プラズマ物理・プラズマ化学の研究者をはじめとして,原子・分子物理,薄膜・表面の物理・化学,電子工学など多分野の研究者が一堂に会して,プラズマを接点とする境界分野の成果発表・討論を行うと共に,新たな問題点の発掘や,新しいプロセシングの可能性を追求することが目的です。
プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM)は,材料科学の視点でのプラズマ応用を,特に産学連携の推進を目的に開催されている国内会議で今回第34回目となります。プラズマプロセス,プラズマ材料科学と産業界を結びつける重要な国内会議と位置づけられます。 <

日程 2022.01.24-26
会場/発表形式 オンライン開催
発表形式は口頭発表のみで、以下の(i)(ii)の2種類での開催を予定しています。
(i)口頭発表(長)「Long Oral = 15 分発表 + Q&A」。
(ii)口頭発表(短)「Short Oral = 7分発表 + Q&A」。講演奨励賞 応募可能
発表言語は「日本語」または「英語」です。
主催 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
協賛(順不同) プラズマ・核融合学会、静電気学会、日本表面真空学会、電気学会、日本物理学会、表面技術協会
重要な日程 2ページ以内プロシーディング予稿(1ページ可)投稿〆切り:2021/11/15
事前参加登録・参加費振り込み期限:2021/12/15

招待講演

プレナリー招待講演

名前(敬称略) 所属 題目
榊田 創 産業技術総合研究所 低侵襲プラズマ止血機器の基礎・開発と国際標準の推進
平松 美根男 名城大学 カーボンナノウォールの合成と新規応用
浜口 智志 大阪大学 プラズマ材料科学賞受賞講演(基礎部門賞)
サブナノメータノード半導体デバイス製造をめざしたプラズマプロセスの理解

招待講演

名前(敬称略) 所属 題目
野崎 智洋 東京工業大学 Fluidized-bed DBD reactor for better plasma-catalyst coupling: a new reactor design concept
中谷 達行 岡山理科大学 DLCの医療応用の現状と将来展望
富田 健太郎 北海道大学 トムソン散乱法を用いた空気ストリーマ放電やEUV光源用プラズマの研究
神野 雅文 愛媛大学 プラズマ遺伝子・分子導入法の機序と応用
守屋 剛 東京エレクトロン株式会社 半導体製造プロセス最適化への機械学習技術の適用
大熊 崇文 パナソニック株式会社 多相交流アークの高速度温度計測とナノ粒子合成

トピック

重点テーマ

  • (P1)持続可能な開発目標(SDGs)実現に向けた新規プラズマ材料プロセス
  • (P2)プラズマの医療・バイオ分野・農業応用

一般テーマ

  • 1)プロセシングプラズマにおける素過程・モデリング
  • 2)プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング
  • 3)低ガス圧プロセシングプラズマの生成および応用
  • 4)大気圧プラズマ・熱プラズマの生成および応用
  • 5)液相・気液界面プラズマの生成および応用
  • 6)プラズマによる薄膜・表面プロセス(エッチング,薄膜形成,表面改質)
  • 7)エレクトロニクス・ナノテクノロジー分野へのプラズマ応用
  • 8)環境・宇宙・エネルギー分野へのプラズマ応用
  • 9)プラズマプロセシングにおけるIoT/AI活用
  • 10)上記以外のプラズマ関連研究

プラズマエレクトロニクス講演奨励賞

審査を希望する場合は講演申込時に申請してください。
以下の条件を満たす人が対象者となります。
・2022年4月1日時点で満35歳以下の者。
・論文の筆頭著者であること。
・登録された発表者であり,且つ,実際に発表した者。
・講演申し込み時に奨励賞を申請した者。但し,一人一件に限る。
・表彰時に応用物理学会会員またはPE分科会会員であること。

2ページ以内プロシーディング予稿テンプレート

Please change your abstract into PDF file when you submit it.

参加登録

2ページ以内プロシーディング予稿投稿(1ページ可)

終了しました:2ページ以内プロシーディング予稿投稿:2021/11/18(木).

Abstract Submission has been closed.

参加登録

会費区分 一般(事前登録・送金) 一般(12/15以降) 学生(事前登録・送金) 学生(12/15以降)
応物学会PE分科会会員 12,000円 14,000円 3,000円 4,000円
PE分科会会員
(応物学会非会員)
15,000円 17,000円 5,000円 6,000円
応物学会・学振153委員
・協賛学協会会員
(PE分科会非会員)
15,000円 17,000円 5,000円 6,000円
その他(非会員) 18,000円 20,000円 8,000円 9,000円

SPP-39/SPSM34では、参加登録・参加費の決済に株式会社メタップスペイメントが運営する「イベントペイ」を利用しています。お支払い方法は、「クレジットカード」「コンビニ決済」「ペイジー」からお選びいただけます。
※「コンビニ決済」「ペイジー」をご利用の方は、お申込日から1週間以内にお支払いをお済ませください。

登録期限 : 2022/01/25(火)11:59am
※以降は個別にお問い合わせください(手動で少々お時間を頂きます)。
spp39.2022(at)gmail.com

プロシーディング集への広告募集

SPP-39/SPSM34ではPDF版のプロシーディング集を発行予定です。このプロシーディング集への広告をご希望の方は,下記のフォームからemailにてお送りください。
広告申し込みPDFフォーム ダウンロード
申し込みは spp39.2022(at)gmail.comにお願い申し上げます。(The symbol (at) should be changed to @ for use.)

組織委員会

実行委員会

実行委員長 内田儀一郎(名城大)
副実行委員長 太田貴之(名城大)
事務 村瀬
実行委員 竹田圭吾(名城大)、熊谷慎也(名城大)、伊藤昌文(名城大)、平松美根男(名城大)

プログラム委員会(順不同)

田中康規(金沢大)、 栗原一彰(キオクシア)、 中村圭二(中部大)、 市來龍大(大分大)、 明石治朗(防衛大)、 大久保雄司(大阪大)、 熊谷慎也(名城大)、 石川健治(名古屋大)、 古免久弥(大阪大)、 渡辺隆行(九州大)、 伊藤昌文(名城大)、 大熊崇文(パナソニック)、 竹内希(東京工業大)、 小野亮(東京大)、 神原淳(東京大)、 平岡 尊宏(ウシオ電機)、 王斗艶(熊本大)、 大矢根綾子(産業技術総合研究所)

お問い合わせ

Email: spp39.2022(at)gmail.com
The symbol (at) should be changed to @ for use.